项目

参数

仓储型号

i-Stock Semi Foup stocker

外型尺寸

L5100*W2400*H2700(可定制)

物料种类

FOUP、FOSB、SMIF Pod、Mask、Cassette、Wafer Stack Box

wafer规格

6寸/8寸/12寸

存储容量

320盒(6寸Wafer Stack Box)

手臂负载

12-25kg (可定制)

定位精度

0.3-0.5mm

存/取时间

20~30s/盒

净化等级

class10；100；1000

震动

≤0.5G

噪音

≤75DB

UPS

断电后半小时供工控机上传资讯，操作系统正常关闭

通讯方式

SECS/GEM (E82/E88)

静电防护

防静电处理材质储位，表面阻值10₆-10₁₁Ω
设备外部结构接地，设备电源接地 < 1Ω

温度湿度管控范围

控制范围:温度20-25°C，相对湿度10~45%RH
支持加充氨气

EFEM

可对接AMR/OHT