半导体晶圆仓伺服监控
通过实时监测、故障预警、数据记录与分析等功能，有助于提高生产效率、保证晶圆品质和设备安全。
实时了解电机的负载情况，优化电机的使用和维护。
实时了解电机的运行状态和位置坐标，管控电机数据信息。
实时了解机台的电力使用情况，优化能源管理和提高能源利用效率。
实时监测晶圆仓内温湿度等环境参数，保证晶圆存储环境的安全性。
实时了解设备的工作状态、运行参数和故障信息，提高设备的可靠性和效率。
