i-Stock Semi Wafer stocker_i-Stock Semi Wafer stocker

i-Stock Semi Wafer stocker

i-Stock Semi Wafer stocker，突破技术壁垒，打造行业晶圆存储设备，以单片晶圆为单位进行准确管控，内部搭载洁净机械手臂，达到半导体行业无尘等级要求。库内高速传递晶圆片，准确取片，库外可拓展对接AMR上下料，便捷高效，打造智能化、可视化的半导体晶圆存储设备。

技术参数

项目	参数
仓储型号	i-Stock Semi Wafer stocker
外型尺寸	L4465W2200H2500 (可定制)
物料种类	wafer
wafer规格	4/6/8/12寸
存储容量	1800片(6寸wafer)
手臂载重	1kg
定位精度	±0.1mm
存/取时间	6-12s/pcs
净化等级	class10；100；1000
震动	≤0.5G
噪音	≤75DB
UPS	断电后半小时供工控机上传资讯，操作系统正常关闭
通讯方式	SECS/GEM (E82/E88)
静电防护	防静电处理材质储位，表面阻值10₆-10₁₁Ω 设备外部结构接地，设备电源接地 < 1Ω
温度湿度管控范围	控制范围: 温度20-25°C，相对湿度10~45%RH 支持加充氮气
EFEM	可对接AMR/OHT

产品优势