i-Stock Semi Wafer stocker

i-Stock Semi Wafer stocker,突破技术壁垒,打造行业晶圆存储设备,以单片晶圆为单位进行准确管控,内部搭载洁净机械手臂,达到半导体行业无尘等级要求。库内高速传递晶圆片,准确取片,库外可拓展对接AMR上下料,便捷高效,打造智能化、可视化的半导体晶圆存储设备。
技术参数

项目

参数

仓储型号

i-Stock Semi Wafer stocker

外型尺寸

L4465*W2200*H2500 (可定制)

物料种类

wafer

wafer规格

4/6/8/12寸

存储容量

1800片(6寸wafer)

手臂载重

1kg

定位精度

±0.1mm

/取时间

6-12s/pcs

净化等级

class10;100;1000

震动

≤0.5G

噪音

≤75DB

UPS

断电后半小时供工控机上传资讯,操作系统正常关闭

通讯方式

SECS/GEM (E82/E88)

静电防护

防静电处理材质储位,表面阻值106-1011Ω
设备外部结构接地,设备电源接地 < 1Ω

温度湿度
管控范围

控制范围: 温度20-25°C,相对湿度10~45%RH
支持加充氮气

EFEM

可对接AMR/OHT


产品优势
  • 高智能

    一物一码一储位”实现无人化、准确化、
    智能化管理

  • 高效率

    双机械手协同作业,更高效率出入库拣选,
    物料自动批量存取

  • 高精度

    提升物料拣选准确率和准确度,
    降低劳动强度与晶圆人为损耗

  • 洁净度

    搭载FFU,符合半导体车间洁净等级要求

  • 多模式

    多种出入库对接模式,
    从容应对各场景不同物料的输送需求

  • 可视化

    定制智能看板,数据智能可视

推荐产品